氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備由真空系統(tǒng)（前級泵+分子泵組合）、檢測系統(tǒng)（閥門、內(nèi)置漏孔、氦質(zhì)譜室）以及電路系統(tǒng)（主板、電源板、分子泵驅(qū)動板、通信板等）組成，用惰性氣體氦作為示宗氣體。氦氣具備分子量小、比較活躍，在空氣中的含量小（5PPM）、無毒無害等特點。

檢測方法：

將鋰電池放入腔體中，通過真空法，即將氦氣充入與檢漏儀相連的真空腔體內(nèi)（負壓噴氦法）來檢測被檢電池的漏液量。

產(chǎn)品特點：

? 靈敏度高

? 可檢精度高

? 可靠性強

? 安全性高

? 成本相對適中

? 人機界面友好